表面粗糙度儀測量工件表面粗糙度時，將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內部的驅動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內置的銳利觸針感受被測表面的粗糙度，此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發生變化，從而在相敏整流器的輸出端產生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號，該信號經過放大及電平轉換之后進入數據采集系統。
表面粗糙度儀從測量原理上主要分為兩大類：接觸式和非接觸式，接觸式粗糙度儀主要是主機和傳感器的形式，非接觸式粗糙度儀主要是光學原理例如激光表面粗糙度儀。
從測量使用的方便性上說又可分為：袖珍式表面粗糙度儀、手持式粗糙度儀、便攜式粗糙度儀、臺式粗糙度儀。
粗糙度儀從功能又可劃分為：表面粗糙度儀、粗糙度形狀測量儀（粗糙度形狀測量儀是界于表面粗糙度儀和表面粗糙度輪廓儀之間的一款測量表面粗糙度的儀器，也可說是微觀表面粗糙度輪廓儀）和表面粗糙度輪廓儀。
表面粗糙度儀的功能特點：
1.多參數測量：Ra.Rz；
2.高精度電感傳感器；
3.RC.PC-RC.GAUSS.D-P四種濾波方式；
4.內置鋰離子充電電池及充電控制電路，容量高；
5.機電一體化設計，體積小，重量輕，使用方便，內置標準RS232接口可與PC機通訊；
6.具有自動關機功能。此表有兩種關機方式：一種為手動關機，另外一種為鍵盤操作5分鐘關機。
7.具有公英制轉換功能。
